制备设备及实验室
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磁控-电子束蒸发复合系统 |
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LMBE（RHEED）脉冲激光沉积系统 |
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LMBE-450A型激光分子束外延系统 |
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PLD-450型脉冲激光沉积系统 |
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JGP560CC型超高真空三室磁控溅射系统 |
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LKJ-3D-150离子束刻蚀系统 |
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SGL-60型高真空热处理炉 |
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化学气相沉积系统 |
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超净实验室 |
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性能测试设备
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7407型振动样品磁强计 |
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U-3310型紫外可见光谱仪 |
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P-7型台阶仪 |
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其它共享设备
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AFM/MFM/STM扫描探针显微镜 |
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超导量子干涉仪 |
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JSM-7500F扫描电子显微镜 |
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JEM-2100透射电子显微镜 |
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综合物性测试系统 |
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Ultima IV-185 X射线粉末衍射仪 |
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